規格（長×寬）mm

研磨平板精度等級

1級

2級

3級

平面度公差（um）

200×200

10

20

50

300×200

12

24

60

300×300

12

24

60

300×400

12

24

60

400×400

12

24

60

400×600

14

28

70

500×500

14

28

70

500×600

14

28

70

500×800

16

32

80

600×800

16

32

80

600×900

16

32

80

1000×750

18

36

90

1000×1000

20

39

96

1000×1200

20

40

100

1000×1500

24

48

120

1000×2000

26

52

130

1500×2000

28

56

140

1500×2500

32

64

152

1500×3000

70

174

2000×3000

74

184

2000×4000

88

219

2500×3000

79

186

2000×4500

237

2000×5000

255

2000×6000

292

3000×6000

308